Kokios yra LED epitaksinės plokštelės augimo technologijos?

1. Skysčio fazės epitaksinio augimo metodas:daugiausia naudojamas raudonos ir žalios šviesos diodų epitaksijos technologijai

2. Dujinės fazės epitaksinio augimo metodas:daugiausia naudojamas geltonos ir oranžinės spalvos šviesos diodų epitaksinei technologijai, pavyzdžiui, galio arsenido fosforo (GaAsP) medžiagų auginimui

3. dviejų etapų augimo procesas:Dabartinė komercinė dažniausiai naudojamų procesų gamyba, tačiau yra epitaksinių plokštelių vienodumo problemų, plėtros tendencija apima padidėjusį apkrovą ir didelį atskirų lustų įrangos automatizavimo laipsnį

4. Hidrido garų fazės epitaksinės plokštelės (HVPE) technologija:gali greitai išauginti storas plėveles su mažu bitų paklaidos tankiu, tačiau sunku tiksliai kontroliuoti plėvelės storį ir yra ėsdinanti įrangai.

5. Selektyvusis epitaksinis vaflių augimas arba šoninis epitaksinis vaflių augimo technologija:naudojant fotolitografijos ir ėsdinimo technologijas, kad būtų suformuotas kaukės sluoksnis, dar labiau sumažintas bitų klaidų tankis ir pagerinta kristalo kokybė.