Ką apima LED lustų gamybos procesas?

1. Fotolitografija yra raktas į tikslų lustų gamybos modeliavimą. Per fotolitografiją suprojektuotą lustų grandinės modelį galima perkelti į epitaksinį vaflį. Pavyzdžiui, fotorezistas yra apšvitintas ultravioletiniu šviesa, o po ekspozicijos, vystymosi ir kitų žingsnių ant lusto susidaro tikslūs elektrodai, aktyviosios sritys ir kitos struktūros. Litografijos tikslumas gali pasiekti nanometrų lygį, kuris yra labai svarbus gaminant aukštos kokybės miniatiūrinius LED lustus.

2. Ordinimo procesai naudojami nepageidaujamoms medžiagos dalims pašalinti. Pavyzdžiui, per plazmos ofortą puslaidininkių medžiaga, veikiama po litografijos, gali būti pašalinta, kad būtų sudaryta specifinė lusto struktūra, pavyzdžiui, lentelės struktūra ir kt.

3. Dopingas yra svarbus žingsnis keičiant puslaidininkių elektrines savybes. Per jonų implantaciją arba šiluminę difuziją ir kitus metodus, specifinius priemaišų atomus (tokius kaip silicis, magnis ir kt.) Į tam tikro regiono epitaksinį sluoksnį, kad pakeistų jo elektrinį laidumą, P tipo ir N tipo puslaidininkio regiono formavimą kad suprastų LED lusto šviesos sklaidos funkciją. Pavyzdžiui, magnis (mg) dažniausiai naudojamas kaip p tipo dopantas galume nitrido pagrindu pagamintuose šviesos dioduose.